Studium | Forschung | Organisation | Highlights | Personen | Universität | 
change language

Modul 68.2 : Dünne Schichten und Lithographie - Technologische Aspekte der Nanotechnologie


2. Lehrveranstaltungen des Moduls: Vorlesung (2SWS) und Übung / Seminar / Praktikum (2 SWS)


3. Modulverantwortliche(r): Die Lehrenden sind Professor(inn)en und Dozent(inn)en der Experimentalphysik im Wechsel.


4. Lehrinhalte: 

Es werden verschiedene technologisch relevante Aspekte der Nanostrukturphysik behandelt. Die Lateralstrukturierung von Oberflächen und Schichtsystemen mittels verschiedener lithographischer Verfahren in Größenskalen von Mikrometern zu Nanometern ermöglicht es erst, magnetische, optische oder elektronische Bauelemente herzustellen. Wie bei der Herstellung dünner Schichten werden auch bei der Lateralstrukturierung  immer kleinere Dimensionen und steigende Strukturgenauigkeiten erforderlich.  Nanolithographische Verfahren, die diesen Anforderungen genügen, werden  vorgestellt und ihre Vor- und Nachteile gegenübergestellt und diskutiert.  Kernpunkte der Veranstaltung sind: Wachstumsprozesse dünner Schichten, Depositionsverfahren dünner Schichten (PVD, CVD und Sputtern), Herstellung von Nanopartikeln und anderer nanoskaliger Materialien (Nanodrähte, Nanodrähte, poröse Materialien), Lithographieverfahren (optische Lithographie, Elektronenstrahlschreiben, Röntgenlithographie, Extreme Ultraviolet Lithographie, Elektronen- und Ionenprojektions-Lithographie, maskenlose Lithographie, Nanostempelverfahren)

5. Kompetenzen:
Ziel der Veranstaltung ist die Vermittlung von fundierten Kenntnissen zu technologisch relevanten Aspekten der Nanostrukturphysik, insbesondere zu Herstellungsmethoden und Wachstum dünner Schichten und Nanopartikel  sowie Lithographie.

6. Anzahl Einzelleistungen: eine benotete Einzelleistung


7. Prüfungsformen: Klausur oder mündliche Prüfung


8. Voraussetzungen für die Vergabe von Leistungspunkten: regelmäßige aktive Teilnahme, Bestehen der Klausur oder der mündlichen Prüfung


9. Arbeitsaufwand und Leistungspunkte: Leistungspunkte (LP) für das Modul: 6 LP


10. Teilnahmevoraussetzungen und Vorkenntnisse: keine


11. Modultyp und Verwendbarkeit des Moduls: Pflicht-Spezialisierungsmodul Masterstudiengang Nanowissenschaften


12. Dauer des Moduls/Angebotsturnus: jährlich, im Wintersemester

 



  • @ Uni Bielefeld
  • | Letzte Änderung: 01.10.2014
  •  
  • | Kontakt
  • | Datenschutz
  • | Impressum
  • | Druckansicht PDF